发明名称 METHOD OF FORMING BUMP ON SINGLE CRYSTAL WAFER SURFACE
摘要
申请公布号 JPH07283222(A) 申请公布日期 1995.10.27
申请号 JP19940066001 申请日期 1994.04.04
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 YOSHIDA HIDEAKI;NAKABAYASHI AKIRA;MASUDA AKIHIRO
分类号 H01L21/288;C25D5/08;C25D7/12;H01L21/321;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
主权项
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