| 发明名称 |
ACTIVE ATOM FEEDING CONTROL METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07283140(A) |
申请公布日期 |
1995.10.27 |
| 申请号 |
JP19940066913 |
申请日期 |
1994.04.05 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
SATO MICHIO |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
