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发明名称
ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH07282770(A)
申请公布日期
1995.10.27
申请号
JP19950083729
申请日期
1995.04.10
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NAKAO SHUJI
分类号
C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
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