发明名称 EVACUATOR
摘要
申请公布号 JPH07279888(A) 申请公布日期 1995.10.27
申请号 JP19940069520 申请日期 1994.04.07
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 JINBO TAKESHI
分类号 F04D19/04;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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