MANUFACTURE OF SILICON ON SAPPHIRE WAFER,申请号JP19950031925-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SILICON ON SAPPHIRE WAFER
摘要
申请公布号	JPH07283383(A)	申请公布日期	1995.10.27
申请号	JP19950031925	申请日期	1995.02.21
申请人	INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM>	发明人	JIEEMUZU ERU EGURII;JIYOOJI EMU GATSUTO;DANIERU JIEI KOTSUHO;MAIKERU EI MATOUSEBUITSU
分类号	H01L27/12;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/67;(IPC1-7):H01L27/12	主分类号	H01L27/12
代理机构		代理人
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