| 发明名称 |
CONFIGURATION OF CLEAN ROOM IN PRODUCTION LINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07283089(A) |
申请公布日期 |
1995.10.27 |
| 申请号 |
JP19940068574 |
申请日期 |
1994.04.06 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
IWASAKI TAKEMASA;SHIMOSHA SADAO |
| 分类号 |
F24F7/06;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
F24F7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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