| 发明名称 |
METHOD FOR GENERATING CHARGED PARTICLE BEAM PLOTTING DATA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07282100(A) |
申请公布日期 |
1995.10.27 |
| 申请号 |
JP19940072253 |
申请日期 |
1994.04.11 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KAMIYAMA KINYA;MORIIZUMI KOICHI;TAOKA HIRONOBU |
| 分类号 |
G06F17/50;(IPC1-7):G06F17/50 |
主分类号 |
G06F17/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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