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发明名称 APPARATUS FOR OBTAINING THIN FILMS BY ION-PLASMA SPRAYING METHOD
摘要
申请公布号 RU2046840(C1) 申请公布日期 1995.10.27
申请号 SU19925066553 申请日期 1992.09.24
申请人 INSTITUT MIKROELEKTRONIKI RAN 发明人 BOCHKAREV VLADIMIR FEDOROVICH;GORYACHEV ALEKSANDR ALEKSANDROVICH;NAUMOV VIKTOR VASILEVICH
分类号 C23C14/32;C23C14/00;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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