发明名称 III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH07283142(A) 申请公布日期 1995.10.27
申请号 JP19940067332 申请日期 1994.04.05
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 SHIMAZU MITSURU;KIMURA HIROYA
分类号 C30B25/16;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/16
代理机构 代理人
主权项
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