发明名称 LEAD INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07280534(A) 申请公布日期 1995.10.27
申请号 JP19940093105 申请日期 1994.04.06
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD 发明人 YAZAKI NORIHIRO;KUDO KAZUO;MURAKAMI NOBUO
分类号 G01B11/24;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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