发明名称 ELECTRONIC DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07283364(A) 申请公布日期 1995.10.27
申请号 JP19940074593 申请日期 1994.04.13
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 BANDAI MASAAKI;TAKEUCHI HITOSHI;SAITO YUTAKA
分类号 H01L21/60;H01L23/538;H01L27/14;(IPC1-7):H01L23/538 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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