发明名称 BUMP FORMING METHOD FOR SEMICONDUCTOR CHIP AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07283224(A) 申请公布日期 1995.10.27
申请号 JP19940068809 申请日期 1994.04.06
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TATSUMI KOHEI;IMADA MASAFUMI
分类号 H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址