发明名称 PROJECTION ALIGNMENT METHOD AND PROJECTION ALIGNER EMPLOYING IT
摘要
申请公布号 JPH07283130(A) 申请公布日期 1995.10.27
申请号 JP19940100677 申请日期 1994.04.14
申请人 CANON INC 发明人 ORII SEIJI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027;G03B27/32 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址