| 发明名称 |
IC TEST SYSTEM, ION BEAM TESTER THEREFOR AND METHOD FOR SPECIFYING DEFECTIVE PART OF IC |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07280890(A) |
申请公布日期 |
1995.10.27 |
| 申请号 |
JP19940095678 |
申请日期 |
1994.04.08 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORP |
发明人 |
KURIHARA MASAYUKI;GOSEKI AKIRA;UEDA KOJI |
| 分类号 |
G01R31/302;G01R31/303;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/302 |
主分类号 |
G01R31/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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