发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING WIRING PATTERN ON CERAMIC SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH07280868(A) 申请公布日期 1995.10.27
申请号 JP19940092953 申请日期 1994.04.05
申请人 SUMITOMO KINZOKU CERAMICS:KK 发明人 SHINODA TATSUO
分类号 G01R31/02;G01R27/26;(IPC1-7):G01R31/02 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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