发明名称 Exposure apparatus.
摘要
申请公布号 EP0412756(B1) 申请公布日期 1995.10.25
申请号 EP19900308642 申请日期 1990.08.06
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 KUROSAWA, HIROSHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;UDA, KOJI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;OZAWA, KUNITAKA, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;UZAWA, SHUNICHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;MIZUSAWA, NOBUTOSHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;SUDA, SHIEGEYUKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;NOSE, NORIYUKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;KARIYA, TAKAO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA
分类号 G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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