| 发明名称 |
Method for microwave plasma assisted CVD diamond coating. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0528778(B1) |
申请公布日期 |
1995.10.25 |
| 申请号 |
EP19920850194 |
申请日期 |
1992.08.14 |
| 申请人 |
SANDVIK AKTIEBOLAG |
发明人 |
SOEDERBERG, STAFFAN;SHAHANI, HAMID;SJOESTRAND, MATS |
| 分类号 |
B23B27/14;B23P15/28;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/458;C23C16/50;C23C16/511;C30B29/04;H01L21/00;(IPC1-7):C23C16/26;C23C16/44;C23C16/54 |
主分类号 |
B23B27/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
