发明名称 VACUUM VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07278803(A) 申请公布日期 1995.10.24
申请号 JP19940069469 申请日期 1994.04.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NISHIZAWA YASUHIRO
分类号 C23C14/30;G11B5/85;(IPC1-7):C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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