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发明名称
SUPPORTING MECHANISM FOR SUBSTRATE HEATING HOLDER
摘要
申请公布号
JPH07278820(A)
申请公布日期
1995.10.24
申请号
JP19940075066
申请日期
1994.04.13
申请人
ANELVA CORP
发明人
FUKAGAWA WATARU
分类号
C23C16/46;(IPC1-7):C23C16/46
主分类号
C23C16/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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