发明名称 IMMERSION CLEANING DEVICE AND MATERIAL PIECE-CLEANING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07275815(A) 申请公布日期 1995.10.24
申请号 JP19940075914 申请日期 1994.04.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SADAMORI MASAAKI
分类号 B08B3/08;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/08 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
地址