发明名称
摘要
申请公布号 JPH0744049(U) 申请公布日期 1995.10.24
申请号 JP19910028920U 申请日期 1991.04.24
申请人 发明人
分类号 B65G49/07;B65G47/90;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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