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发明名称 MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH07277883(A) 申请公布日期 1995.10.24
申请号 JP19940093962 申请日期 1994.04.08
申请人 JAPAN ENERGY CORP 发明人 TAKAKUSAKI MISAO
分类号 C30B23/08;C30B29/42;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/08 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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