| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING AN ISOLATION REGION ENRICHED IN OXYGEN AND A FABRICATION PROCESS THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR950012911(B1) |
申请公布日期 |
1995.10.23 |
| 申请号 |
KR19920072552 |
申请日期 |
1992.10.15 |
| 申请人 |
FUJITSU CO., LTD. |
发明人 |
KIKKAWA, TOSHIHIDE;OHORI, TASUYA |
| 分类号 |
C30B25/02;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/338;H01L21/76;H01L21/8252;H01L27/06;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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