| 发明名称 |
VAPOR PHASE GROWTH APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR950012910(B1) |
申请公布日期 |
1995.10.23 |
| 申请号 |
KR19920015900 |
申请日期 |
1992.09.02 |
| 申请人 |
TOSHIBA CO., LTD. |
发明人 |
SAMATA, SHUICHI;MIKI, KAZUHIKO |
| 分类号 |
C30B25/10;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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