具有叠氮基之高感度感光性树脂

摘要

本发明系有关一种土分子中至少具有一个以化学式（１）：□ (１)（式中，ｎ系代表１～２ 之整数）所示之基团的具有叠氮基之高感度感光性树脂。本发明之感光性树脂，由于分子内具有一个以上吸收波长范围在３００ｎｍ以上之叠氮基，因此成为一种高感度之感光性树脂。是以，此一感光性树脂，可 供该波长范围光透过之工业上价廉的乳剂被覆成之光罩或钠玻璃制光罩能供使用，作为光致抗蚀齐，特别有用。

主权项

1.一种具有叠氮基之高感度感光性树脂,该感光性 树脂系 由下列化学式(2): (式中,n代表1-2之整数) 所示之化合物(A)与选自(甲基)丙烯酸之均聚物或 共聚物 、马来酸或马来酸单酯之均聚物或共聚物、具有 胺基之乙 烯系聚合物、或酚树脂之分子中具有至少一个可 与环氧基 反应的活性基之聚合物(B)反应所衍生而成,其分子 中至 少具有一个以下列化学式(1): (式中,n代表1-2之整数) 所示之基团者。2.依申请专利范围第1项所述之具 有叠氮基之高感度感光