发明名称 METHOD FOR REMOVAL OF THE RESIDUE OF A SAWING-AID FROM
摘要
申请公布号 KR950012814(B1) 申请公布日期 1995.10.21
申请号 KR19880003606 申请日期 1988.03.31
申请人 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERMATERIALIEN MBH 发明人 DR. GERHARD BREHM;MANUELA, KNIPF;RUDOLF, MAYRHUBER;JURGEN, SCHUHMAEHER;DR. MAX STADLER
分类号 B23Q3/08;B28D7/02;C03B33/06;C11D7/26;C30B33/00;H01L21/304;(IPC1-7):C23G5/02 主分类号 B23Q3/08
代理机构 代理人
主权项
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