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发明名称
METHOD FOR REMOVAL OF THE RESIDUE OF A SAWING-AID FROM
摘要
申请公布号
KR950012814(B1)
申请公布日期
1995.10.21
申请号
KR19880003606
申请日期
1988.03.31
申请人
WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERMATERIALIEN MBH
发明人
DR. GERHARD BREHM;MANUELA, KNIPF;RUDOLF, MAYRHUBER;JURGEN, SCHUHMAEHER;DR. MAX STADLER
分类号
B23Q3/08;B28D7/02;C03B33/06;C11D7/26;C30B33/00;H01L21/304;(IPC1-7):C23G5/02
主分类号
B23Q3/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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