| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR950012744(B1) |
申请公布日期 |
1995.10.20 |
| 申请号 |
KR19870005705 |
申请日期 |
1987.06.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD. |
发明人 |
KATSUTO, HISAO;SUGIURA, JUN |
| 分类号 |
H01L27/08;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8234;H01L27/088;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/08 |
主分类号 |
H01L27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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