| 发明名称 |
METHOD AND MECHANISM FOR CLEANING FILM FORMATION APPARATUS OF DUST |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07273039(A) |
申请公布日期 |
1995.10.20 |
| 申请号 |
JP19940058506 |
申请日期 |
1994.03.29 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KIYONO TOMOYUKI;SATO TADASHI |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C16/02;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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