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发明名称 CONTROL METHOD FOR SEMICONDUCTOR TEST DEVICE USING EXTERNAL EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH07270498(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940085632 申请日期 1994.03.31
申请人 ANDO ELECTRIC CO LTD 发明人 TAMURA KENJI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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