| 发明名称 |
Substrat semi-conducteur et son procédé de production. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2702087(B1) |
申请公布日期 |
1995.10.20 |
| 申请号 |
FR19930014062 |
申请日期 |
1993.11.24 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KK |
发明人 |
ARIMOTO SATOSHI;HAYAFUJI NORIO;DEGUCHI MIKOO |
| 分类号 |
H01L21/208;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/208 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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