发明名称 MICRO VACUUM ULTRAVIOLET-RAY SPECTROSCOPIC DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07272899(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940060441 申请日期 1994.03.30
申请人 NEC CORP 发明人 SUZUKI KENICHIRO
分类号 G01J3/10;G21K1/06;G21K5/02;H05H13/00;H05H13/04;(IPC1-7):H05H13/04 主分类号 G01J3/10
代理机构 代理人
主权项
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