TESTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT,申请号JP19940060478-传众专利搜索

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发明名称	TESTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号	JPH07270488(A)	申请公布日期	1995.10.20
申请号	JP19940060478	申请日期	1994.03.30
申请人	NEC CORP	发明人	MURAKAMI HIDEYOSHI
分类号	G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26	主分类号	G01R31/26
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