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发明名称 WASHER
摘要
申请公布号 JPH07273079(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940058820 申请日期 1994.03.29
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TERU ENG KK 发明人 HAYASHI KAZUICHI
分类号 B08B15/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B15/02
代理机构 代理人
主权项
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