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发明名称 VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07273034(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940082688 申请日期 1994.03.30
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 ADACHI AKIRA
分类号 B01J3/02;C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
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