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发明名称 ANTI-REFLECTION FILM FORMING METHOD AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07273008(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940060882 申请日期 1994.03.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 MITO HIDEAKI
分类号 H01L21/205;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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