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发明名称 LIQUID CONTROL MEANS
摘要
申请公布号 JPH07270370(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940064121 申请日期 1994.03.31
申请人 TOKICO LTD 发明人 SUGIMOTO KOYATA;TAKAIWA SATOSHI
分类号 G01N27/26;H01L21/304;(IPC1-7):G01N27/26 主分类号 G01N27/26
代理机构 代理人
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