| 发明名称 |
FINE ADJUSTING DEVICE FOR SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07272661(A) |
申请公布日期 |
1995.10.20 |
| 申请号 |
JP19940058510 |
申请日期 |
1994.03.29 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI SCI SYST:KK |
发明人 |
AKATSU MITSUO;OZASA SUSUMU |
| 分类号 |
H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/20 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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