| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR FORMING LIQUID-LIKE FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07273020(A) |
申请公布日期 |
1995.10.20 |
| 申请号 |
JP19940304398 |
申请日期 |
1994.11.14 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR SYST INC |
发明人 |
MAIKERU ERU PARODEI;ROI II HAATEITSUGU |
| 分类号 |
B05D1/00;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
B05D1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
