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发明名称
CATHODIC UNIT PREFERABLY FOR PLASMA-BEAM VACUUM DEPOSITION OF THIN FILMS
摘要
申请公布号
RU2046154(C1)
申请公布日期
1995.10.20
申请号
RU19930012688
申请日期
1993.03.09
申请人
IVASHOV EVGENIJ N;KONDRASHOV PAVEL E;ORINCHEV SERGEJ M;SLEPTSOV VLADIMIR V;STEPANCHIKOV SERGEJ V
发明人
IVASHOV EVGENIJ N;KONDRASHOV PAVEL E;ORINCHEV SERGEJ M;SLEPTSOV VLADIMIR V;STEPANCHIKOV SERGEJ V
分类号
C23C14/35;C23C14/04;(IPC1-7):C23C14/35
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
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