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发明名称 SUBSTRATE USE HOLDER
摘要
申请公布号 JPH07273475(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940057234 申请日期 1994.03.28
申请人 AMADA METRECS CO LTD 发明人 KAKIZAKI YOICHI
分类号 H05K7/04;H05K7/14;(IPC1-7):H05K7/14 主分类号 H05K7/04
代理机构 代理人
主权项
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