发明名称 METHOD AND DEVICE FOR EXPOSURE
摘要
申请公布号 JPH07273017(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940087795 申请日期 1994.03.31
申请人 SONY CORP 发明人 SOMEYA ATSUSHI
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址