发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07273339(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940065108 申请日期 1994.04.01
申请人 SHARP CORP 发明人 MAEKAWA SHINJI
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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