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摘要
申请公布号
JPH07273061(A)
申请公布日期
1995.10.20
申请号
JP19940087806
申请日期
1994.03.31
申请人
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
MIYAMORI YUICHIRO
分类号
H01L21/28;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
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