发明名称 PREFORMED FILM CARRIER, ELECTRONIC ELEMENT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07273152(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940059264 申请日期 1994.03.29
申请人 TORAY IND INC 发明人 MAEDA YOSHIICHI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址