发明名称 TREATMENT OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH07272991(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940083951 申请日期 1994.03.30
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 HENMI MANABU
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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