SOLUTION TO ETCH LAYERS OF INDIUM SULFIDE,申请号RU19930006847-传众专利搜索

发明名称	SOLUTION TO ETCH LAYERS OF INDIUM SULFIDE
摘要
申请公布号	RU2046451(C1)	申请公布日期	1995.10.20
申请号	RU19930006847	申请日期	1993.02.03
申请人	NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT FIZICHESKOJ OPTIKI I OPTIKI LAZEROV, INFORMATSIONNYKH SISTEM - GOLOVNOJ INSTITUT VSEROSSIJSKOGO NAUCHNOGO TSENTRA "GOI IM.S.I.VAVILOVA"	发明人	ZIGEL VLADISLAV V;KABANOV VSEVOLOD I;MIKHAJLOV MIKHAIL D;TURKINA ELENA YU;TVERYANOVICH ANDREJ S
分类号	H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
主权项
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