| 发明名称 |
PLATE DEVICE FOR TEMPERATURE CONTROL FOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07271452(A) |
申请公布日期 |
1995.10.20 |
| 申请号 |
JP19940079738 |
申请日期 |
1994.03.25 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
YABE MANABU;KITAGAWA MASARU |
| 分类号 |
H01L21/304;G05D23/00;(IPC1-7):G05D23/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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