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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07273288(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940060477 申请日期 1994.03.30
申请人 NEC CORP 发明人 OKAMOTO TETSUMASA
分类号 H01L21/76;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/320 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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