| 发明名称 |
ADJUSTING METHOD FOR ELECTRIC FIELD IONIZING TYPE GAS PHASE ION SOURCE AND ION BEAM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07272653(A) |
申请公布日期 |
1995.10.20 |
| 申请号 |
JP19940058822 |
申请日期 |
1994.03.29 |
| 申请人 |
JEOL LTD |
发明人 |
SAKATA TAKAHIDE;KUMAGAI KIYOTO |
| 分类号 |
H01J27/26;H01J37/04;H01J37/05;H01J37/08;H01J37/305;H01J49/16;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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