发明名称 Mit einem Plasma arbeitendes Gerät.
摘要
申请公布号 DE3853890(T2) 申请公布日期 1995.10.19
申请号 DE19883853890T 申请日期 1988.01.19
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP;HITACHI SERVICE ENGINEERING CO. LTD., HITACHI, IBARAKI, JP 发明人 FUKUDA, TAKUYA, HITACHI-SHI, JP;MOCHIZUKI, YASUHIRO, KATSUTA-SHI, JP;MOMMA, NAOHIRO, HITACHI-SHI, JP;TAKAHASHI, SHIGERU, HITACHIOTA-SHI, JP;SUZUKI, NOBORU, HITACHI-SHI, JP;SONOBE, TADASI, NAKOSOMACHI IWAKI-SHI, JP;CHIBA, KIYOSI, HITACHI-SHI, JP;SUZUKI, KAZUO, HITACHI-SHI, JP
分类号 C23C16/511;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;C23C16/50;C23F4/00 主分类号 C23C16/511
代理机构 代理人
主权项
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